报告题目 | 金属有机框架表面构筑与应用 |
报告人 | 涂敏 研究员 |
报告人单位 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
报告时间 | 2025年3月6日（星期四）14:00 |
报告地点 | 物质科研楼B604会议室 |
主办单位 | 精准智能化学全国重点实验室 |
金属有机框架（MOFs）具有孔径均一且可调控、结构多样和组成可修饰等特点。除了在吸附、分离和催化等领域具有广泛应用外，MOF材料在生化传感器、光学器件和半导体器件等领域也展现出巨大的应用前景。MOF材料的微电子器件应用需要开发出微结构上定域选择性图案化技术，解决与传统半导体微纳加工工艺兼容性难题。我们运用化学气相沉积方法实现了MOF薄膜的晶圆级可控沉积，并系统表征MOF薄膜的孔道结构与吸附性能。通过引入敏感构筑基元，实现了MOF薄膜的高分辨率（<50 nm）无光刻胶直接图案化，包括紫外、X射线、电子束和EUV等光刻方法，开发的MOF材料定域构筑方案为其在微电子器件中的集成应用提供技术支撑。 | |
报告人简介 | 涂敏，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员，传感器技术全国重点实验室副主任。博士毕业于德国波鸿大学，之后分别在比利时鲁汶大学和德国马普所从事博士后研究。主要从事多孔材料微纳加工与器件集成方面的研究，迄今在Nat. Mater.、Angew. Chem. Int. Ed.、ACS Nano、Adv. Funct. Mater.等期刊发表文章40余篇。入选国家级、中国科学院和上海市海外高层次人才、上海市浦江学者、欧盟玛丽居里学者等，主持国家自然科学青年基金和国家重点研发计划课题等项目。 |
